一种管式 CVD 炉用接头、二维材料及其生长装置和方法
项目负责人：吴雅苹 教授 技术领域：新材料
成果介绍：本发明装置和方法在CVD生长设备上设计多个可观察的、可独立控制加热温度和时间、可准确控制蒸发源材料通断的蒸发源加热腔，从而提高了CVD生长材料组分和异质结界面的可控性，很好地改善了管式CVD炉多温区蒸发源之间温度的互相影响，解决了材料生长过程中元素组分不易调控和异质结界面互扩散的问题，提高材料及其异质结的生长效率和晶体质量。鉴于目前CVD技术在科研和产业方面 均具有广泛的应用需求，该发明装置其推广应用将带来较大的经济效益和实用价值。
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